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  • 商品名称: 硅烷燃烧塔
  • 上架时间: 2017-03-24
  • 浏览次数: 21

污染源特征:
生产工艺:PECVD、特气柜间
废气种类:硅烷磷
 
工作原理:
气体由管道经过不锈钢燃烧桶的初级燃烧处理再由管道经过硅烷钢燃烧塔进口进入塔内一次向上运动。喷嘴喷出的液滴向下运动,经过一道洗涤。然后再塔内二次净化同时塔内装有填充料,增大与气体的接触面积,使气体与液滴处接触,达到彻底净化效果。干净由气体经过上层的脱水层排出。由于一些气体成分不同,另以酸液或碱液作为洗涤。
 
特点:
1、净化效率可达98-99.9%以上
2、结构简单,压损小
3、处理风量大,性能稳定
4、操作维护简单、方便
5、设备使用寿命长
 
适用范围:
印刷电路板、半导体制造、光伏行业
 

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